半導體行業潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則

半導體行業潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則

無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細jun等污染物排除，并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。即不論外在空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定要求潔凈度、溫濕度及壓力等級能特性。

潔凈室的發展與現代工業、高技術密切聯系在一起。由于精密機械工業（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導體工業（如大規模集成電路生產）等對環境的要求，促進了潔凈室技術的發展。國內曾統計過，在無潔凈級別的要求的環境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。

經濟和科技發達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準，都規定了有關的潔凈度等級，我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規范》（GBJ73-84），1996年該規范進行了較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》（JGJ71-90）以指導施工和驗收的重要文件。依據美國聯邦政府頒布的標準【FederalAtandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級：分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。

如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸是0.5um，無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。

1級；這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業，對集成電路的精確要求位亞微米。

10級；這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。

100級；很多人認為。這是使用范圍面廣，因而是重要的無塵車間。人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室，以說明“無菌"的或“無塵"的環境要求，100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等，這一潔凈室大量應用于植入體內物品的制造，外科手術，包括集成器的制造，那些對細jun感染特別敏感的病人的隔離治療。

1000級；這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產，還用于測試，裝配高質量微型軸承等。

10000級；萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配，某些情況也用于食品飲料工業，此外，萬級無塵車間在醫工業中也很常用。

100000級；十萬級無塵車間用于很多的工業部門，比如光學產品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統，液壓或氣壓的制造，食品飲料的生產，醫藥工業也常常使用這一級無塵車間。

無塵車間是一個多功能的歸納整休，多功能表現在以下兩個方面。

多專業--修建、空調、凈化、純水、純氣；

多參數--空氣潔凈度、細菌濃度以及空氣的風量、壓力、噪聲、照度，萬級無塵車間強度高，隔熱保溫，可作天花圍護布局板材承重，抗彎抗壓，一般潔凈室比較少用梁柱。

無塵車間設計要點：

一、滿足生產工藝對建筑設計的要求，實現高性能的制造空間與設施。在對凈化工程 無塵車間進行總圖設計、平面布置、剖面設計時，須充分考慮場地的合理利用和滿足工藝生產的要求。在對凈化無塵車間工程的建筑進行設計時，須處理好潔凈區域與其相關的輔助區的關系。

二、實現能夠經濟運行的設施，節約能源、易于維護、降低造價。凈化無塵車間建筑設計，須確保凈化無塵車間內清潔、易清掃、防止內外污染，防止微粒產生、滯留和積存。

三、應使用可靠性高的運行設施，凈化無塵車間建筑設計，應確保建筑設備的安全運行，當一旦出現事故后，確保人員、財產安全。主體結構應具備同凈化無塵車間內的工藝裝備水平，建筑處理和裝飾水平相適應的等級水平，潔凈廠房的耐久性、耐火能力，裝修應與裝備水平相互協調，使投資長期長揮作用。

四、應實現能夠適應將來變化的設施，潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有靈活性，為生產工藝的調整創造條件。

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